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陈涛教授

陈涛教授,男,中国电子科技集团公司第四十六研究所工程师,天津籍。
从事半导体硅材料的研发生产、了解硅单晶材料的生长、加工技术,掌握硅外延材料的设计、制备、检验技术
在硅外延专业领域完成3项总装配套项目;在硅外延工艺中的杂质控制技术、热场模拟技术、气体流场模拟技术、缺陷控制及检测技术等方面开展了大量工作。
主要学术成果:
论文:外延层过渡区对肖特基二极管I-V特性的影响;
专利:一种CCD器件用硅外延片的制备方法;
      一种高均匀性硅外延材料的制备方法;
专业方向:一、二、三代半导体材料;陶瓷材料;薄膜材料;

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